技術(shù)頻道

本文對(duì)一種汽車用MEMS壓力傳感器中的鍵合金線，在加速振動(dòng)試驗(yàn)時(shí)的疲勞情況進(jìn)行了研究。首先簡(jiǎn)單介紹了MEMS壓力敏感芯片引線鍵合以及引線的基本情況，然后利用有限元方法對(duì)引線在20g的加速振動(dòng)下的疲勞和壽命進(jìn)行了分析，并利用了概率上的冗余理論對(duì)鍵合工藝提出了改進(jìn)，最后給出了實(shí)際的結(jié)果，證實(shí)了模擬和改進(jìn)工藝的合理性。