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半導(dǎo)體壓力傳感器研制現(xiàn)狀與開(kāi)發(fā)動(dòng)向
半導(dǎo)體壓力傳感器研制現(xiàn)狀與開(kāi)發(fā)動(dòng)向
發(fā)布時(shí)間：2013/8/30 11:43:18
文件類型：pdf
資料大小：270.39KB
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【半導(dǎo)體壓力傳感器研制現(xiàn)狀與開(kāi)發(fā)動(dòng)向】
隨著IC制造技術(shù)的迅速發(fā)展，硅膜片式壓力傳感器及其集成化壓力傳感器受到青睞，對(duì)其開(kāi)發(fā)研制相當(dāng)盛行。本文以應(yīng)用壓阻效應(yīng)原理的硅膜片式壓力傳感器為中心闡述半導(dǎo)體壓力傳感器的最近研制現(xiàn)狀與開(kāi)發(fā)動(dòng)向。
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