集成電路照排平臺高精度定位傳感器
型 號SMU9000
產(chǎn) 地廣東省 深圳市
最小起訂
1臺
供貨總量
0臺
發(fā)布時間
2009-03-26
有效日期
已過期
集成電路照排平臺高精度定位傳感器
在關鍵的Z軸高度調(diào)整中，支撐圓晶片的平臺必須非常精確地處于焦點平面（次原子級）。凱盟系統(tǒng)精確測量Z軸平臺的位置（如圖）并輸出模擬信號（或可選的數(shù)字接口）。此傳感器的高精度、重復性和分辨率可讓用戶在平臺定位和聚焦上形成閉環(huán)。用凱盟公司15N傳感器頭和前置器SMU9000組成。
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企業(yè)詳細信息
普通會員
廠商性質(zhì)
所在地
廣東省
聯(lián)系人
江山
地址：深圳市南山區(qū)南山大道中油大廈2210
電話：0755－26528100
傳真：0755－26435640
網(wǎng)址：http://www.51sensors.com
主營產(chǎn)品：激光位移傳感器、電容位移傳感器、電感位移傳感器、電渦流位移傳感器、磁致伸縮位移傳感器、電阻位移傳感器、超聲位移傳感器、光電位移傳感器
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