克洛諾斯超精密氣浮“家族” 開啟半導(dǎo)體運控新紀(jì)元

　　1 克洛諾斯三大創(chuàng)新矩陣

　　憑借17年的技術(shù)積淀，克洛諾斯作為國家級專精特新 “小巨人”企業(yè)，持續(xù)突破納米級精度天花板：實現(xiàn)了從氣 浮零部件到半導(dǎo)體運控平臺的全場景覆蓋;國內(nèi)首家實現(xiàn)晶 圓級納米定位技術(shù)量產(chǎn);累計服務(wù)500+半導(dǎo)體/光學(xué)/面板/ LDI/自動化客戶?？寺逯Z斯呈現(xiàn)的三大創(chuàng)新矩陣包括：

　　· 半導(dǎo)體前道量檢測方案：水星運動平臺(±2nm位置 穩(wěn)定性)+ 天王星運動平臺(40ms整定時間)+ 氣浮轉(zhuǎn)臺 (25nm跳動誤差)+ 氣浮運動平臺(±35nm精度、±5nm Jitter值);

　　· 先進封裝解決方案：木星運動平臺(±200nm貼片精 度)+ 天王星運動平臺(40ms整定時間);

　　· 精密加工創(chuàng)新組合：氣浮電主軸(25nm精度)+ 小藍 動力導(dǎo)軌(±5μm進度)。

　　2 技術(shù)領(lǐng)航，定義行業(yè)新標(biāo)準(zhǔn)

　　(1)木星超精密運動控制平臺

　　顛覆傳統(tǒng)封裝工藝：2m/s疾速響應(yīng)配合±200nm定位 精度。

　　木星運動平臺，結(jié)合先進的運動控制器和運動算法，提 供多個特色控制功能：例如零穩(wěn)定時間、非線性控制、先進 的前饋和軌跡過濾器、納秒級抖動控制的全部軸完全同步、 特有的同步軸控制算法、多維度mapping、基于實時map 位的先進觸發(fā)能力、先進的控制優(yōu)化軟件診斷工具和系統(tǒng)頻譜分析工具，適用于先進固晶制程(倒晶封裝、扇出、混合 鍵合、2.5D/3D封裝)以及Mini LED固晶、點膠等領(lǐng)域。

　　(2)水星超精密運動控制平臺

　　前道量檢測新標(biāo)桿：±2nm穩(wěn)定性+1.25m/s動態(tài)性能。

　　水星運動控制平臺，總行程達475*410mm，可滿足12 寸及以下的晶圓量檢測使用。水星擁有極佳的動態(tài)性能，加 速度達20m/s2,同時最高速度達到1.25m/s，定位精度高達 ±1μm并擁有優(yōu)異的雙向重復(fù)精度，可滿足晶圓量檢測設(shè)備 的短行程短穩(wěn)定需求。

　　水星運控平臺卡盤面帶真空接口，還可選配導(dǎo)軌粉塵抽 吸功能、個性化信號以及壓縮空氣管等，可滿足ISO2潔凈等 級環(huán)境需求。為了進一步提升晶圓量檢測UPH，克洛諾斯還 可為水星加裝靜音系列主動避震，在特定頻率及工況下隔振 效果能達到95%以上，每移動10μm整定窗口±40nm時整定 時間就可控制在40ms內(nèi)，并且位置穩(wěn)定性在2KHZ時能達到 ±2nm，這意味著水星能極大程度上降低工作時間，有效提 升設(shè)備的UPH值。

　　(3)氣浮電主軸

　　精密加工里程碑：20000rpm水冷直驅(qū)+<100nm徑向 誤差。

　　該系列獨特的密封(迷宮式)確保主軸在不清潔的環(huán)境 中使用而不易損壞。其中，CABS-20000和CABS-12000主 軸適用于高速加工和精度要求很高的加工。CABS-5000主軸 是為晶圓研磨和拋光設(shè)計開發(fā)的，主軸的徑向和軸向誤差運動小于200nm，適用于各種高精度加工設(shè)備。