厚膜陶瓷電容式壓力傳感器的設計與制備
發(fā)布時間:2013/8/29 18:52:48
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【厚膜陶瓷電容式壓力傳感器的設計與制備】
結合厚膜技術、陶瓷技術研制了雙電容結構的壓力傳感器,詳細闡述了厚膜陶瓷電容式壓力傳感器的結構設計、工作原理、制備方法、測試結果。
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