半導體壓力傳感器研制現(xiàn)狀與開發(fā)動向
發(fā)布時間：2013/8/30 11:43:18
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【半導體壓力傳感器研制現(xiàn)狀與開發(fā)動向】
隨著IC制造技術的迅速發(fā)展，硅膜片式壓力傳感器及其集成化壓力傳感器受到青睞，對其開發(fā)研制相當盛行。本文以應用壓阻效應原理的硅膜片式壓力傳感器為中心闡述半導體壓力傳感器的最近研制現(xiàn)狀與開發(fā)動向。
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