現(xiàn)代微電子和涂布硅片光伏電子。最具成本效益的生產(chǎn)方法是減少單個(gè)晶體管,CPU芯片和太陽(yáng)能電池從大型單位稱(chēng)為硅晶圓。這意味著高度無(wú)菌硅片必須準(zhǔn)確和可重復(fù)涂于一系列不同的物質(zhì)。特殊臥式爐用于這一制造過(guò)程,因?yàn)樗鼈冊(cè)试S的條件定義相關(guān)的反應(yīng)。高性能、非?？煽康默F(xiàn)代微驅(qū)動(dòng)器適合爐物流,即裝卸爐管和爐門(mén)的開(kāi)啟和關(guān)閉。

幾乎所有的現(xiàn)代電子設(shè)備是基于硅片將一系列組件,如晶體管。他們需要迅速和大量生產(chǎn),以提供具有成本效益的定價(jià)對(duì)單個(gè)芯片。芯片因此產(chǎn)生大量被稱(chēng)為“晶”的物體,這是硅表測(cè)量100至300毫米,,然后分開(kāi)。特定的晶片表面處理也可能涉及大氣吸收的磷和硼化合物在低壓化學(xué)氣相沉積(CVD)。Tempress系統(tǒng)容積Vaassen在荷蘭已經(jīng)開(kāi)發(fā)出一種高度靈活的臥式爐提供芯片制造商的高度靈活性。爐用于大規(guī)模生產(chǎn)太陽(yáng)能電池基于晶片質(zhì)量。健壯的微drivess開(kāi)發(fā)的微驅(qū)動(dòng)器專(zhuān)家FAULHABERSchonaich斯圖加特附近用于加載個(gè)人爐管道。他們也會(huì)自動(dòng)關(guān)閉爐門(mén),這是一個(gè)至關(guān)重要的安全功能,高活性化學(xué)物質(zhì)用于熔爐。

定做晶片治療

電子行業(yè)生產(chǎn)方式變化更快比幾乎任何其他部門(mén)。因此所有需要使用的系統(tǒng)的靈活適應(yīng)能力。

各種不同的生產(chǎn)需求。臥式爐實(shí)施這些行業(yè)需求的完美。四個(gè)反應(yīng)爐室橫向排列,含156mmx156mm晶圓生產(chǎn)的太陽(yáng)能電池。大約有400到500晶圓管,所以它只需要一個(gè)過(guò)程的外套高達(dá)每小時(shí)1500晶片。太陽(yáng)能電池板生產(chǎn)、晶圓的面積平均后可以用于生成4W的能量。如果你認(rèn)為一個(gè)普通住宅屋頂有大約50板生產(chǎn)約200W,Tempress爐的產(chǎn)量代表太陽(yáng)能電氣性能每年30到35MW。高吞吐量水平允許具有成本效益的大規(guī)模生產(chǎn)的太陽(yáng)能電池。鍋爐在正常工作壓力或真空,氣溫介于380和1380°C。因?yàn)榫矄问前嘿F的,過(guò)程的可靠性是至關(guān)重要的,所有的組件必須滿足嚴(yán)格的要求。Tempress數(shù)據(jù)管理系統(tǒng)允許范圍廣泛的參數(shù)配置,從溫度管理通過(guò)精確測(cè)量氣體壓力控制。有一個(gè)特殊的加載系統(tǒng)的加載和卸載個(gè)別爐管。微驅(qū)動(dòng)器作為執(zhí)行機(jī)構(gòu)。驅(qū)動(dòng)器的主要要求是一個(gè)高水平的從一個(gè)非常緊湊的驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)矩,加上精密定位。也是,驅(qū)動(dòng)器必須非常可靠。畢竟,錯(cuò)誤的代價(jià)非常昂貴,因?yàn)楦叱杀舅胶透g性化學(xué)物質(zhì)的使用。穩(wěn)健設(shè)計(jì)的行星齒輪也是一個(gè)決定性因素。執(zhí)行機(jī)構(gòu)選擇的公司的其他好處包括完成驅(qū)動(dòng)的緊湊設(shè)計(jì),匹配的編碼器,其活力和直觀的控制。

微drivess——強(qiáng)勁和精確

FAULHABER范圍的各種驅(qū)動(dòng)解決方案部署在不同的熔爐。加載系統(tǒng),例如,使用一個(gè)DC-Micro驅(qū)動(dòng)器。diameter-compliant行星齒輪減少速度,同時(shí)增加了驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)矩。根據(jù)設(shè)計(jì)(正?；騢eavy-loader),使用的驅(qū)動(dòng)器有一個(gè)直徑32和38毫米轉(zhuǎn)換比率和金屬行星齒輪迷14:1或3.71:1。在兩個(gè)版本,有插件編碼器,使晶片的精確定位系統(tǒng)基于256脈沖的電機(jī)軸的革命。齒輪轉(zhuǎn)換也會(huì)增加驅(qū)動(dòng)軸的精度。有更嚴(yán)格的要求關(guān)閉爐門(mén)的安全性至關(guān)重要的功能。必須保證可靠的鎖定系統(tǒng),以確保氣體不從爐管泄露。這就是為什么電機(jī)編碼器和行星齒輪一些模型也安裝了電磁剎車(chē)。這些保證車(chē)門(mén)關(guān)閉安全甚至在發(fā)生停電。制動(dòng)單元也插入到32毫米電動(dòng)機(jī),與整個(gè)單元包括電機(jī)——僅72.5毫米。

現(xiàn)代微drivess提供的所有功能更大的緊湊的空間內(nèi)的驅(qū)動(dòng)器。無(wú)論是編碼器,齒輪迷或剎車(chē),幾乎所有組件現(xiàn)在可以在小型形式。他們的一流設(shè)計(jì)可靠性保證高水平的過(guò)程。

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