在智能硬件、工業(yè)制造、健康醫(yī)療、車聯(lián)網(wǎng)等諸多領(lǐng)域，傳感器都有著廣闊的應(yīng)用空間。但我國(guó)八成以上傳感器依賴進(jìn)口。未來(lái)，這一現(xiàn)狀有望改變。9月10日，國(guó)內(nèi)首條全球領(lǐng)先的8英寸“超越摩爾”研發(fā)中試線正式運(yùn)營(yíng)。由上海微技術(shù)工業(yè)研究院構(gòu)建的這條中試線，旨在打通從研發(fā)到小批量生產(chǎn)的超越摩爾產(chǎn)業(yè)生態(tài)鏈布局，助攻創(chuàng)新研發(fā)。

中試線運(yùn)營(yíng)副總裁游家杰介紹，今天，第一個(gè)溫度傳感器產(chǎn)品將在這條中試線上流片，第一批產(chǎn)品預(yù)計(jì)10月下旬初步跑通。整條中試線按規(guī)劃未來(lái)產(chǎn)能可以達(dá)到每月3000片。

根據(jù)摩爾定律，當(dāng)價(jià)格不變時(shí)，集成電路上可容納的元器件數(shù)目，約每隔18—24個(gè)月會(huì)增加一倍，性能也將提升一倍。超越摩爾，是指無(wú)需遵循摩爾定律，在工藝尺寸上越做越小，而是在成熟的工藝生產(chǎn)線上，研發(fā)非數(shù)字、多元化半導(dǎo)體技術(shù)與產(chǎn)品，力爭(zhēng)在傳感器等其他新興領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)“換道超車”，這是另辟蹊徑的一種反向突破。

“這是我們的‘鎮(zhèn)宅之寶’！”上海微技術(shù)工研院總裁楊瀟說(shuō)，這條面向全國(guó)開(kāi)放的8英寸研發(fā)中試線將成為一個(gè)創(chuàng)新設(shè)計(jì)的源頭，不僅可以進(jìn)行工藝研發(fā)，還可以實(shí)現(xiàn)和小批量生產(chǎn)的無(wú)縫對(duì)接，從而打通創(chuàng)新鏈和產(chǎn)業(yè)鏈，使得國(guó)內(nèi)“超越摩爾”生態(tài)鏈得以完善。

中國(guó)科協(xié)副主席、中科院院士、中科院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所所長(zhǎng)王曦介紹，這條8英寸研發(fā)中試線將貫通“超越摩爾”研發(fā)到量產(chǎn)全程服務(wù)，專注于傳感器等產(chǎn)品技術(shù)開(kāi)發(fā)，重點(diǎn)部署了微機(jī)電系統(tǒng)、硅光子、3D集成等相關(guān)工藝和測(cè)量設(shè)備。

游家杰說(shuō)，國(guó)內(nèi)的高校、研究所和企業(yè)做了不少原創(chuàng)研發(fā)工作，但沒(méi)有條件做中試，也就不可能投入市場(chǎng)。8英寸中試線的建成，正是為了加快這些原創(chuàng)成果市場(chǎng)化的速度?，F(xiàn)在已有10多家企業(yè)找上門來(lái)洽談了。

以8英寸線為支點(diǎn)，撬起一個(gè)功能型平臺(tái)的作用已初顯。到2020年，上海市將培育形成約30家研發(fā)與轉(zhuǎn)化功能型平臺(tái)，與張江綜合性國(guó)家科學(xué)中心共同組成上?？苿?chuàng)中心建設(shè)的“四梁八柱”。上海微技術(shù)工業(yè)研究院正是第一個(gè)啟動(dòng)的平臺(tái)，試圖打造集研發(fā)、工程、市場(chǎng)、孵化的一體化功能平臺(tái)，為創(chuàng)新企業(yè)及合作伙伴提供全方位服務(wù)和解決方案。