2023年第二屆第三代半導體材料技術與市場研討會由半導體在線主辦，本屆會議于2023年3月30-31日在中國-蘇州合景萬怡酒店召開。

第二屆第三代半導體材料技術與市場研討會提供協(xié)同創(chuàng)新的高質量交流平臺，推動國內第三代半導體材料的學術研究、技術進步和產(chǎn)業(yè)發(fā)展，展示業(yè)內精英企業(yè)，凝聚行業(yè)發(fā)展共識。

在此次會議，鵬城半導體技術（深圳）有限公司（簡稱：鵬城半導體）將帶來納米技術及高端制造設備跟大家見面，其中包括多功能磁控濺射解決方案、熱絲CVD金剛石制備設備、分子束外延系統(tǒng)MBE、等離體增強型化學氣相沉積PECVD、高真空電子束蒸鍍儀等。

多功能磁控濺射是用磁控濺射的方法，制備金屬、合金、化合物、半導體、陶瓷、介質復合膜及其它化學反應膜等；適用于鍍制各種單層膜、多層膜、摻雜膜系及合金膜；可鍍制磁性材料和非磁性材料。

熱絲CVD金剛石制備設備：研發(fā)設計制造了熱絲CVD金剛石設備，分為實驗型設備和生產(chǎn)型設備兩類。

設備主要用于微米晶和納米晶金剛石薄膜、導電金剛石薄膜、硬質合金基金剛石涂層刀具、陶瓷軸承內孔鍍金剛石薄膜等。

可以制造大尺寸金剛石多晶晶圓片，用于大功率器件、高頻器件及大功率激光器的散熱熱沉；可用于生產(chǎn)制造防腐耐磨硬質涂層；環(huán)保領域污水處理用的耐腐蝕金剛石導電電極等。

可用于平面工件的金剛石薄膜制備，也可用于刀具表面或其它不規(guī)則表面的金剛石硬質涂層制備。

分子束外延系統(tǒng)MBE：可以在某些襯底上實現(xiàn)外延生長工藝，實現(xiàn)分子自組裝、超晶格、量子阱、一維納米線等?？梢赃M行第二代半導體和第三代半導體的工藝驗證和外延片的生長制造。

分子束外延系統(tǒng)MBE在薄膜外延生長時具有超高的真空環(huán)境，是在理想的環(huán)境下進行薄膜外延生長，它可以排除在薄膜生長時的各種干擾因素，得到理想的高精度薄膜。

我公司設計制造的分子束外延薄膜生長實驗設備，分實驗型和生產(chǎn)型兩種 ，配置合理，結構簡單，操作方便，技術先進，性能可靠，用途多，實用性強，性價格比高，可供各大學的實驗室及科研機構作為分子束外延方面的教學實驗、科學研究及工藝實驗之用。生產(chǎn)型MBE可用于小批量外延片的制備。

等離體增強型化學氣相沉積PECVD：主要用于在潔凈真空環(huán)境下進行氮化硅和氧化硅的薄膜生長；采用單頻或雙頻等離子增強型化學氣相沉積技術，是沉積高質量的氮化硅、氧化硅等薄膜的理想工藝設備。

高真空電子束蒸鍍儀：是在高真空條件下，采用電子束轟擊材料加熱蒸發(fā)的方法，在襯底上鍍制各種金屬、氧化物、導電薄膜、光學薄膜、半導體薄膜、鐵電薄膜、超硬膜等；可鍍制混合物單層膜、多層膜或摻雜膜；可鍍各種高熔點材料。

可用于生產(chǎn)、科學實驗及教學，可根據(jù)用戶要求專門訂制。

可根據(jù)用戶使用要求，選配石英晶體膜厚自動控制及光學膜厚自動控制兩種方式, 通過PLC 和工控機聯(lián)合實現(xiàn)對整個鍍膜過程的全程自動控制, 包括真空系統(tǒng)、烘烤系統(tǒng)、蒸發(fā)過程和膜層厚度的監(jiān)控功能等，從而提高了工作效率和保證產(chǎn)品質量的一致性和穩(wěn)定性。

鵬城半導體核心業(yè)務是微納技術與高端精密制造，具體應用領域包括半導體材料、半導體工藝和半導體裝備的研發(fā)設計和生產(chǎn)制造。在本屆會議中所呈現(xiàn)的方案及設備，將有工作人員給您詳細講解，希望可以在線下和大家產(chǎn)生更多的技術交流及思想碰撞。

3月30日-31日，歡迎大家到會議現(xiàn)場打卡體驗

期待與您相遇！

我們不見不散~