將芯片微型化的極限推至1.4納米
14ACMOS是由歐盟資助的下一個半導(dǎo)體技術(shù)節(jié)點的新開發(fā)項目，預(yù)期將能夠生產(chǎn)尺寸低至14埃(1.4納米)的芯片結(jié)構(gòu)。Physik Instrumente (PI)公司通過研發(fā)精度超過百萬分之一毫米的超高精度納米定位系統(tǒng)，參與了此項研究計劃。
用于晶圓精密定位的壓電陶瓷平臺
當(dāng)前，使用3nm技術(shù)制造的高端微芯片標(biāo)志著技術(shù)的最前沿。2nm技術(shù)節(jié)點的生產(chǎn)技術(shù)預(yù)計最早將于明年推出，而1.4nm(即14埃)技術(shù)預(yù)期將于2027年問世。這項耗資9500萬歐元、名為14ACMOS的研究項目得到了歐盟和“芯片聯(lián)合企業(yè)”(Chips JU)的共同支持。項目集結(jié)了來自六個國家的二十五個合作伙伴， 匯集了歐洲半導(dǎo)體行業(yè)領(lǐng)軍供應(yīng)商的技術(shù)訣竅和開發(fā)專業(yè)知識，由ASML公司負(fù)責(zé)協(xié)調(diào)。
本項目按照協(xié)議編號101096772獲得歐盟的共同資助，并獲得芯片聯(lián)合企業(yè)及其成員的支持。
作為半導(dǎo)體行業(yè)的系統(tǒng)合作伙伴，PI公司憑借數(shù)十年的行業(yè)經(jīng)驗，其定位系統(tǒng)在全球半導(dǎo)體生產(chǎn)的各個環(huán)節(jié)中占據(jù)重要地位。PI 致力于為客戶提供納米定位解決方案，其產(chǎn)品在光刻、質(zhì)量控制和計量等領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用。在14ACMOS項目中，PI公司負(fù)責(zé)開發(fā)的定位系統(tǒng)必須能在真空環(huán)境下準(zhǔn)確且高度動態(tài)地運行，以確保項目具有可行性。
埃(angstrom)是原子間距離的常用度量單位。一埃等于十萬分之一毫米或0.1納米(nm)。舉例來說，人類頭發(fā)的粗細(xì)約為80,000納米。
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