產(chǎn)品頻道

真空內(nèi)工件的測(cè)量問(wèn)題

在精密器件生產(chǎn)行業(yè)，產(chǎn)品在生產(chǎn)過(guò)程中需要進(jìn)行真空隔離來(lái)進(jìn)行。如半導(dǎo)體、精密電路板塊等產(chǎn)品的生產(chǎn)過(guò)程中，需要在密封的玻璃空間內(nèi)進(jìn)行控制生產(chǎn)。而在生產(chǎn)中往往需要對(duì)產(chǎn)品、工件進(jìn)行定位，這就需要測(cè)量其位移和距離大小。由于被測(cè)物用玻璃隔離了，傳統(tǒng)的卡尺等接觸測(cè)量不能實(shí)現(xiàn)，需要使用非接觸式的測(cè)量方法。使用ZLDS100測(cè)距傳感器可以實(shí)現(xiàn)密封空間里的物體的非接觸測(cè)量。

ZLDS100測(cè)距傳感器方法，可以直接穿過(guò)玻璃測(cè)量玻璃里面物體的距離。由于ZLDS100的測(cè)量精度可以達(dá)到微米級(jí)，非常適合于半導(dǎo)體、精密元器件的在線生產(chǎn)檢測(cè)。

產(chǎn)品工件位置測(cè)量

工件在密封玻璃內(nèi)進(jìn)行加工或傳送是，需要測(cè)定其空間位置，以免工件偏離作業(yè)位置和移動(dòng)軌道。如下圖所示，在密封工件的玻璃外安裝三個(gè)ZLDS100測(cè)距傳感器，就可以實(shí)現(xiàn)對(duì)工件左、右、上的距離測(cè)量，再把測(cè)得值減去工件原來(lái)安放的距離值，就可以得到工件的三維坐標(biāo)變化量。作業(yè)人員或者機(jī)械系統(tǒng)根據(jù)坐標(biāo)變化重新調(diào)整工件的位置。

ZLDS100對(duì)密封玻璃內(nèi)工件的檢測(cè)

產(chǎn)品工件尺寸大小測(cè)量：

對(duì)一些尺寸大小要求很?chē)?yán)格的工件產(chǎn)品，測(cè)距傳感器ZLDS100可以實(shí)現(xiàn)對(duì)其尺寸大小的測(cè)量，例如要測(cè)量工件的厚度值，可以在與工件長(zhǎng)邊的兩個(gè)側(cè)面安裝兩個(gè)ZLDS100傳感器，兩個(gè)傳感器所測(cè)的到工件的距離為A、B，兩個(gè)傳感器之間距離為C，用C-(A+B)即可得工件的厚度。

產(chǎn)品工件輪廓測(cè)量

對(duì)于需要測(cè)量輪廓的工件產(chǎn)品，ZLDS100組成的測(cè)量系統(tǒng)同樣可以把工件的輪廓通過(guò)圖形顯示出來(lái)，工作人員可以通過(guò)輪廓圖形監(jiān)控工件產(chǎn)品的輪廓形狀，系統(tǒng)配有輪廓限度值報(bào)警，輪廓值變異超出限度值時(shí)自動(dòng)報(bào)警，減輕工作人員工作量，提高生產(chǎn)效率。

使用ZLDS100測(cè)量系統(tǒng)進(jìn)行測(cè)量的距離、尺寸、輪廓數(shù)據(jù)以及圖像都可以自動(dòng)存儲(chǔ)，方便生產(chǎn)、工作人員日后的管理統(tǒng)計(jì)分析。