


NanoPWM驅(qū)動(dòng)器代替線性驅(qū)動(dòng)器
產(chǎn)品型號(hào)NanoPWM驅(qū)動(dòng)器
廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
公司名稱ACS Motion Control
地 址Room 301, No.798, Zhaojiabang Rd Shanghai
企業(yè)信息
VIP會(huì)員第11年
公司類型: 生產(chǎn)商
主運(yùn)營(yíng):控制器,驅(qū)動(dòng)器,接口
所在地區(qū):市轄區(qū)
注冊(cè)時(shí)間:2015-08-17
對(duì)比現(xiàn)有已商業(yè)化的線性驅(qū)動(dòng)器,ACS的NanoPWM?驅(qū)動(dòng)器有以下特點(diǎn):
更高的工作電壓及工作電流
更小尺寸
更好價(jià)格
對(duì)于如450mm和300mm晶圓檢測(cè)設(shè)備,以及其它對(duì)高速,高加速,平滑速度和亞納米級(jí)靜止抖動(dòng)有要求的應(yīng)用場(chǎng)合,這是優(yōu)異的驅(qū)動(dòng)方案
應(yīng)用SPiiPlus控制器和NanoPWM?驅(qū)動(dòng)器來(lái)驅(qū)動(dòng)一臺(tái)XY平臺(tái),可以實(shí)現(xiàn)速度大于1米/秒,靜止抖動(dòng)小于±0.3納米,在100毫米每秒速度下跟隨誤差為±10nm
(紅色)對(duì)比線性驅(qū)動(dòng)器(黃色)靜止抖動(dòng)
MC4U控制模塊集成NanoPWMTM驅(qū)動(dòng)器
MC4UNT控制模塊
MC4UDC控制模塊

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