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新松大氣機械手SRBJ1A-AD4401

產(chǎn)品型號SRBJ1A-AD4401

廠商性質生產(chǎn)商

公司名稱沈陽新松機器人自動化股份有限公司

地址遼寧省沈陽市渾南新區(qū)金輝街16號

收藏產(chǎn)品

聯(lián)系人：劉曉菲 024-31699000

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企業(yè)信息

沈陽新松機器人自動化股份有限公司

普通會員第20年

公司類型：生產(chǎn)商

主運營：工業(yè)機器人、物流與倉儲自動化、大型自動化生產(chǎn)線...

所在地區(qū)：沈陽市

注冊時間：2006-03-30

產(chǎn)品新聞

技術文章

產(chǎn)品介紹

耦合傳動、伺服驅動、潔凈傳動及潤滑、SCARA手臂結構，具有占用空間小、大伸縮比、高精度、高潔凈度等優(yōu)點。迎合個性化設計，手指及接口用戶可定制，網(wǎng)絡化控制系統(tǒng)，高速傳片效率和碰撞保護功能，SEMI認證S2、F47，MCBF大于1000萬次。負責完成晶圓在FOUP、緩沖室、工藝位置等之間的自動傳送。是半導體行業(yè)的優(yōu)越之選擇。

參數(shù)

結構形式Mechanical Structure		柱坐標型/SCARA型 Cylindrical Coordinate/SCARA
負載Payload	名稱name	晶圓wafer
	直徑diameter	Φ200mm/Φ300mm
	重量weight	≤0.5kg
自由度數(shù)DOF		4
手數(shù)量Number of Arm		2
最大回轉直徑Maximum Swing diameter		520mm
運動范圍 Moving Range	升降軸 (Z軸)Up/Down( Z)-Axis	450mm
	回轉軸 (T軸) Rotational(T)-Axis	350°
	伸展軸 (R軸) Extension(Z)-Axis	R760mm
最大速度 Maximum Moving Speed	升降軸 (Z軸)Up/Down( Z)-Axis	375mm/s
	回轉軸 (T軸) Rotational(T)-Axis	360°
	伸展軸 (R軸) Extension(Z)-Axis	1100mm/s
重復定位精度 Repeatability	升降軸 (Z軸)Up/Down( Z)-Axis	±0.1 mm(3σ)
	回轉軸 (T軸) Rotational(T)-Axis	±0.01°(3σ)
	伸展軸 (R軸) Extension(Z)-Axis	±0.1 mm(3σ)
潔凈度Clean Class		CLASS 1
主機重量Body Weight		70 kg
電源Power Supply		VAC 220V±10%

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