產(chǎn)品頻道

結(jié)構(gòu)特點(diǎn)

雙軸氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)采用開式氣浮導(dǎo)軌，直線電機(jī)和光柵尺組成，永磁預(yù)載結(jié)構(gòu)，XY軸疊層具有體積小，精度高、工作點(diǎn)低等特點(diǎn)，能有效降低阿貝誤差。X軸比Y軸寬，作為底軸，整體性能更穩(wěn)定。非接觸式氣浮結(jié)構(gòu)，免維護(hù)運(yùn)行，隨著時(shí)間推移，不會(huì)出現(xiàn)磨損或性能下降。

精度性能

QFL-XY軸雙軸氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)的定位精度±0.1μm，雙向重復(fù)定位精度±50nm，直線度±0.1μm，平面度±0.15μm，Pitch Yaw ±0.5arc sec，以上為全行程精度指標(biāo)，由于非接觸式運(yùn)動(dòng)結(jié)構(gòu)，氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)的跟隨誤差有了質(zhì)地提升，精度性能得到顯著提高。 

線纜管理

使用高質(zhì)量的高柔排線和氣管，線管彎曲半徑產(chǎn)生的擾動(dòng)力影響可忽略不計(jì)，運(yùn)動(dòng)中線纜和氣管不影響氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)的性能。此外，可提供帶屏蔽高柔線纜，提供系統(tǒng)抗干擾能力。 

定制化

根據(jù)應(yīng)用，結(jié)構(gòu)可定制化設(shè)計(jì)，如增加平升或楔形Z軸，轉(zhuǎn)臺(tái)等。可配置大理石基座、立柱及橫梁，XY軸安裝到大理石基座上，Z軸安裝橋架上。可選配主動(dòng)隔振系統(tǒng)，適合高抖動(dòng)的應(yīng)用領(lǐng)域。