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3D表面微觀型面測量系統(tǒng)

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四種共焦位移傳感器AF16、C1、KF2、Tele和座標(biāo)機(jī)Hyperion組成3D表面微觀型面測量系統(tǒng)：平面移動(dòng)范圍：50x50mm ；重復(fù)精度：0.5µm ；回程間隙：優(yōu)于3µm ；平直度：0.2µm ,0.5µm ；最大移動(dòng)速度：30mm/s ；步進(jìn)分辨率：0.5µm ； Z方向測量范圍(與選用的傳感器有關(guān))：1.5mm (AF16) ；1mm (KF2/Tele) ；0.3mm (C1) ； Z方向分辨率(與選用的傳感器有關(guān))：10nm (AF16) ；100nm (KF2/Tele) ；25nm (C1) 接口：RS232 ; 尺寸：400x350x350mm ; 重量：40kg 四種傳感器指標(biāo)：型號：AF16/C1/KF2/Tele 量程：1.5/0.3/1/1mm 分辨率：10/25/100/100nm 線性：0.2µm/0.5%/1µm/2µm 重復(fù)性：10/10/30/100nm 測量間隙2/4/4/13.5mm 光源：半導(dǎo)體激光器780nm/鹵素?zé)?5W/半導(dǎo)體激光器670nm/半導(dǎo)體激光器780nm 激光等級：1/－/2/1 光斑直徑：1.9/9/1.7/2µm 測量垂直度：90º±25º 響應(yīng)：16HZ~10KHZ/30HZ~1500HZ/16HZ~1KHZ/16HZ~1KHZ 速度：60mm/s /- /550mm/s /550mm/s 輸出/數(shù)據(jù)接口：RS232/RS232/RS232,模擬/RS232,模擬欲了解更多關(guān)于產(chǎn)品的信息，請?jiān)L問真尚有公司網(wǎng)站 www.51sensors.com

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