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羅普伺達 Wafer搬運機器人
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特點：
» 增加了Rack式移動軸，一臺 Robot和多臺設備組合使用
» 高強性自由伸縮式Z軸 Stroke : 850mm
» 可以做到 SEMI 規(guī)格的 Cassette PASS Line 1,000 mm
» 可以做到 Hand Alignment , 使搬運中的出錯率降到最低
» 全部采用了絕對型伺服電機不需要原點復位
» 制造系統(tǒng)構成最佳化，交貨期短
» Arm 的充分測試可以保證最佳潔凈度可達到 Class 10
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