檢測項目：晶圓邊緣的點缺口或線缺口 點缺口（Dot Notch）線缺口（Flat Notch） 檢測任務：通過視覺檢測，將晶圓（wafer）精確定位，為下一步工序做好準備 原理說明 檢測定位是指找到被測物體或物測物體某一特征區(qū)域并確定其位置，輸出位置坐標，絕大多數(shù)的視覺系統(tǒng)都必須完成這個工作；當被測物體的坐標被準確定位之后，常常需要根據前一步確定的位置來完成下一個動作（比如機器手進行抓取、激光進行切割和焊接頭進行焊接等）。這是視覺行業(yè)里被最密集使用的技術，定位的精度、速度和重復度就是各個視覺系統(tǒng)的關鍵指標，北京優(yōu)納科技有限公司自主研發(fā)的PHOCUS-iNotch晶圓缺口檢測系統(tǒng)在以上方面具有明顯的技術優(yōu)勢，成功實現(xiàn)了自動分辨點缺口與面缺口，及高速高精確檢測與定位。 系統(tǒng)組成 PHOCUS-iNotch晶圓缺口檢測系統(tǒng)主體包括PHOCUS系列智能相機（130萬-300萬象素可選）、iNotch缺口檢測軟件、及系統(tǒng)標配的LED環(huán)形光源和電源，全部由優(yōu)納科技自主研發(fā)生產。易于集成和安裝，利用Etherne網絡進行通訊。通過網絡，用戶可以方便進行數(shù)據訪問和工業(yè)過程監(jiān)控，并實現(xiàn)了更好的晶圓跟蹤。所有地點能夠遠程信息共享。PHOCUS-iNotch還提供RS-232串口通訊，滿足沒有Etherne網絡的工廠設備使用的需要。PHOCUS-iNotch能夠方便與工廠設備進行系統(tǒng)集成，并很容易根據現(xiàn)有設備的需要進行安裝和升級。 系統(tǒng)優(yōu)勢 缺口Notch通常不超過2mm，這要求檢測設備的圖像采集清晰度非常高；在半導體生產現(xiàn)場，對缺口檢測的速度要求很高；同時，受到光源、電源等電磁信號干擾的影響，消除和避免噪音也成為提高檢測精度的必要手段。 晶圓缺口檢測系統(tǒng)PHOCUS-iNotch采用圖像識別技術進行實時檢測、定位和分析，有效地避免了上述的種種問題，使得生產精度，穩(wěn)定性及效率得到極大的提高。其硬件部分采用PHOCUS-1810高速130萬象素智能相機，保證了高質量圖像的采集；檢測定位部分應用優(yōu)納科技自主研發(fā)的iNotch視覺軟件包，其定位精度高，速度快，一次識別時間在100ms以內；結合優(yōu)納最新研發(fā)的LED環(huán)形光源和電源，最大限度地降低了現(xiàn)場噪音對圖像的影響。PHOCUS-iNotch晶圓缺口檢測系統(tǒng)可自動分辨點缺口和線缺口，最高精度可達0.1個象素，性能達到世界領先水平。 軟件界面 系統(tǒng)自動測量并標注圓心、點缺口位置坐標； 自動生成圓心—缺口連線； 測量圓心-缺口距離