摘要：介紹j直線電機(jī)在劃片機(jī)中的應(yīng)用，結(jié)果表明，直線電機(jī)在高精度定位和進(jìn)給方面，性能優(yōu)異。 關(guān)鍵詞：直線電機(jī)劃片機(jī)高精度定位 Keywords linear motor，dicing machine，high accuracy of positioning 隨著計(jì)算機(jī)、通信、高性能消費(fèi)類電子產(chǎn)品等產(chǎn)業(yè)的高速發(fā)展，對(duì)Ic的需求越來越大，預(yù)計(jì)2008年我國(guó)對(duì)Ic的需求量將超過180億塊，而我國(guó)各類IC的封裝量目前僅達(dá)到38億塊，國(guó)內(nèi)封裝產(chǎn)量遠(yuǎn)遠(yuǎn)不能滿足國(guó)內(nèi)市場(chǎng)需求。在集成電路后封裝工藝過程中，對(duì)半導(dǎo)體芯片劃片是其第1道工序，由于要求精度高，所以在我們自行研制生產(chǎn)的劃片機(jī)中選用了直線電機(jī)用于高精度定位和進(jìn)給機(jī)構(gòu)中。 工藝流程及要求 劃片是Ic后封裝中的第1道工序，其加工質(zhì)量將直接影響整個(gè)生產(chǎn)線的整體質(zhì)量。劃片采用精密切割技術(shù)，一般采用厚15～50um 的金剛砂輪片，將圓晶片上各個(gè)獨(dú)立的器件分割開來，劃片槽的寬度通常都小于6um，劃片深度在600～m以內(nèi)。劃片機(jī)采用CCD 攝像機(jī)和圖像處理軟件對(duì)圓晶片進(jìn)行精確對(duì)位，直線電機(jī)步進(jìn)分辨率高達(dá)1um，用于保證對(duì)位和加工的準(zhǔn)確性，達(dá)到精密切割加工的目的 Ic后封裝工藝流程見圖l。 [b][align=center]詳細(xì)內(nèi)容請(qǐng)點(diǎn)擊： 直線電機(jī)在劃片機(jī)中的應(yīng)用[/align][/b]