PiezoWalk?驅(qū)動器是十多年前為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)開發(fā)的。就可靠性、位置分辨率和長期穩(wěn)定性而言，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)是一個非常嚴(yán)苛的行業(yè)。2005年，PI的PiezoWalk?技術(shù)榮獲SEMI技術(shù)創(chuàng)新獎。通過不斷開發(fā)，此類驅(qū)動器目前衍生出了很多版本，可用于不同的應(yīng)用領(lǐng)域。

　　·不同轉(zhuǎn)子長度導(dǎo)致不同行程

　　·分辨率達(dá)0.03納米

　　·不工作時自鎖，無熱量產(chǎn)生

　　·無磁性和真空兼容工作原理

　　·三種技術(shù)：NEXLINE?、NEXACT?和PICMAWalk

　　·從OEM電機(jī)到多軸定位系統(tǒng)的集成度

PiezoWalk? OEM驅(qū)動器緊湊強(qiáng)勁，左起分別為N-331、N-310、N-216

　　步進(jìn)驅(qū)動器的特點

　　·PICMAWalk：具有高續(xù)航力的平穩(wěn)增量運動

　　·直接驅(qū)動原理

　　·PiezoWalk?驅(qū)動器可自鎖

　　·使用壽命和可靠性

　　·應(yīng)用領(lǐng)域

　　·恒定速度和平穩(wěn)驅(qū)動

　　·開環(huán)1納米運動

PICMAWalk：具有高續(xù)航力的平穩(wěn)增量運動

　　在經(jīng)過超10 - 15千米的試運轉(zhuǎn)階段后，驅(qū)動器可實現(xiàn)特別穩(wěn)定的步長。恒定的步長是驅(qū)動器的高負(fù)載能力和續(xù)航力的衡量指標(biāo)。

直接驅(qū)動原理

　　壓電陶瓷步進(jìn)驅(qū)動器無需任何額外的機(jī)械耦合元件。壓電陶瓷驅(qū)動器直接作用于動輪上，無其他影響精度和可靠性的運動部件。對比必需使用連接器和減速齒輪的電機(jī)主軸系統(tǒng)，這是一個優(yōu)勢。

PiezoWalk?驅(qū)動器可自鎖

　　在壓電促動器上相對于動輪施加預(yù)載可確保驅(qū)動器在靜止?fàn)顟B(tài)下和關(guān)機(jī)時自鎖，從而不消耗能量，不發(fā)熱，保持位置的機(jī)械穩(wěn)定性。低占空比的應(yīng)用要求較高的時間和溫度穩(wěn)定性，能得益于這些特點。

使用壽命和可靠性

　　壓電陶瓷促動器的運動基于晶形效應(yīng)，不會產(chǎn)生任何磨損。與其他壓電電動機(jī)原理不同，壓電陶瓷促動器與轉(zhuǎn)子的耦合不受滑動摩擦作用的影響;進(jìn)給是通過促動器的物理夾緊和提升實現(xiàn)的。PICMAWalk驅(qū)動器已通過100千米的連續(xù)帶載運行證明了其耐久性(常壓條件下的標(biāo)準(zhǔn)測試環(huán)境)。

應(yīng)用領(lǐng)域

　　PI壓電電動機(jī)原理上具有真空兼容性，可適用于強(qiáng)磁場下的操作，為此，驅(qū)動器也有多種特殊版本。壓電陶瓷步進(jìn)驅(qū)動器還可用于有較強(qiáng)紫外線輻射的無塵室及其他環(huán)境中。

恒定速度和平穩(wěn)驅(qū)動

　　NEXLINE?驅(qū)動器在納米級步距模式下能達(dá)到最佳的恒定速度和平穩(wěn)驅(qū)動，但由于NEXLINE?驅(qū)動器的1納米開環(huán)運動，整步模式下可實現(xiàn)的最大速度更大。

開環(huán)1納米運動

　　NEXLINE?驅(qū)動器開環(huán)1納米運動的順序。

PICMAWalk：具有高續(xù)航力的平穩(wěn)增量運動

　　在經(jīng)過超10 - 15千米的試運轉(zhuǎn)階段后，驅(qū)動器可實現(xiàn)特別穩(wěn)定的步長。恒定的步長是驅(qū)動器的高負(fù)載能力和續(xù)航力的衡量指標(biāo)。

三大技術(shù)實現(xiàn)更高靈活性

PiezoWalk?步進(jìn)驅(qū)動器涵蓋各種不同的力和速度，這使得其能服務(wù)于多種應(yīng)用

PICMAWalk

　　PICMAWalk驅(qū)動器可實現(xiàn)高達(dá)50牛的進(jìn)給力和高達(dá)60牛的保持力。最大速度為15毫米/秒。PICMAWalk采用久經(jīng)考驗的PICMA?多層壓電陶瓷促動器，意味著壓電電壓低至120伏。PICMA?壓電陶瓷促動器還可確保較長的使用壽命和PICMAWalk技術(shù)杰出的穩(wěn)定性。

NEXLINE?

　　高負(fù)載步進(jìn)驅(qū)動器將壓電陶瓷夾緊和切變促動器相結(jié)合來移動一根桿。在幾百牛的進(jìn)給力下，此類驅(qū)動器具有極大的力和剛性。此類驅(qū)動器可以納米級的分辨率在幾微米的范圍內(nèi)動態(tài)補(bǔ)償振蕩，設(shè)計實現(xiàn)高達(dá)800牛的定位和夾持力，且可在較低速度下工作。

NEXACT?

　　精密步進(jìn)驅(qū)動器通過壓電陶瓷彎曲元件轉(zhuǎn)換步進(jìn)動作。這類驅(qū)動器更緊湊，可實現(xiàn)更高速度，產(chǎn)生10至20牛的力。壓電陶瓷元件的恰當(dāng)選擇可為各應(yīng)用優(yōu)化步長、夾持力、速度和剛性。

　　PiezoWalk?直線電機(jī)的工作原理

　　作為主要零件，此類壓電陶瓷步進(jìn)驅(qū)動器包含幾個壓電陶瓷促動器，其上施加預(yù)載抵住導(dǎo)向轉(zhuǎn)子。這些壓電陶瓷促動器運行時進(jìn)行步進(jìn)運動，將轉(zhuǎn)子往前推進(jìn)。壓電陶瓷促動器可進(jìn)行非常小的步進(jìn)和進(jìn)給運動，從而實現(xiàn)遠(yuǎn)小于1納米的高運動分辨。