?設(shè)備介紹?

　　瓦片多線切割技術(shù)現(xiàn)主要用于切割電機(jī)內(nèi)部磁材，對(duì)鋁鎳鈷、鐵氧體、釤鈷及釹鐵硼等材料進(jìn)行加工。

　　隨著新能源汽車及工業(yè)自動(dòng)化行業(yè)的興起，瓦片多線切割技術(shù)的應(yīng)用可以大大提高磁材的產(chǎn)出效率，減少原材料損耗，還可以縮減下道工序的工作量。

　　瓦片多線切割機(jī)是一種新型切割設(shè)備，簡(jiǎn)稱線鋸，通過金屬絲的高速往復(fù)運(yùn)動(dòng)，把磨料帶入半導(dǎo)體加工區(qū)域進(jìn)行研磨，將半導(dǎo)體等硬脆材料一次性切割為數(shù)百片薄片。多線切割機(jī)以其極高的生產(chǎn)效率和出片率，在大直徑硅片加工領(lǐng)域已逐漸取代內(nèi)圓切割機(jī)。

?工藝介紹?

　　【設(shè)備傳動(dòng)圖】

　　主軸上纏繞多達(dá)幾百圈金屬線用于切割產(chǎn)品。

　　張力擺桿提供恒定線網(wǎng)張力。

　　收放卷電機(jī)實(shí)現(xiàn)高速切割時(shí)金屬線的收放動(dòng)作。

　　排線機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)金屬線在收放卷上均勻排布及糾偏動(dòng)作。

　　工作臺(tái)升降進(jìn)行產(chǎn)品切割，橫移可切割瓦片。

　　【主軸控制—力矩平衡】

　　采用四伺服主軸設(shè)計(jì)，主軸之間通過轉(zhuǎn)矩實(shí)時(shí)反饋，實(shí)現(xiàn)閉環(huán)同步控制，而無(wú)需傳送帶機(jī)構(gòu)，機(jī)構(gòu)運(yùn)轉(zhuǎn)動(dòng)態(tài)響應(yīng)性高，易于安裝，使用壽命更長(zhǎng)。

　　演示視頻：

　　【收放線控制—PID控制】

　　收放線卷徑實(shí)時(shí)計(jì)算，通過速度跟隨加模糊PID控制，實(shí)現(xiàn)收放線的平穩(wěn)運(yùn)行。

　　【排線控制—自動(dòng)糾偏】

　　排線電機(jī)根據(jù)收放卷電機(jī)轉(zhuǎn)速做速度跟隨同步運(yùn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)金屬線高速運(yùn)動(dòng)時(shí)的排線動(dòng)作。

　　新金屬線偶爾會(huì)有排線錯(cuò)亂的情況，這種情況在高速運(yùn)動(dòng)時(shí)會(huì)導(dǎo)致斷線。在排線機(jī)構(gòu)上線的兩側(cè)會(huì)有銅棒或者傳感器用于采集金屬線偏移的信號(hào)，若采集到了金屬線偏移信號(hào)，排線會(huì)根據(jù)信號(hào)進(jìn)行正向或者反向速度疊加運(yùn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)排線糾偏。

　　演示視頻：

　　【瓦片模式】

　　通過工作臺(tái)升降軸和橫動(dòng)軸的位置跟隨同步運(yùn)動(dòng)，使得工作臺(tái)按照預(yù)設(shè)軌跡進(jìn)給，從而切割出需要的瓦片。

　　切割成品：

　　?禾川方案?

　　【方案拓?fù)洹?/p>

　　【性能指標(biāo)】

　　1.金屬線速度：800~1200m/min。

　　2.金屬線加速度：10m/s2。

　　3.金屬線儲(chǔ)線量：20km以上。

　　4.擺桿擺幅：±1°以內(nèi)。

　　5.斷線率：1%以內(nèi)。

　　6.切片厚度差：2絲以內(nèi)。

　　7.張力波動(dòng)：0.1N以內(nèi)。

　　8.切割模式：直片、瓦片。

　　【方案優(yōu)勢(shì)】

　　1. 工作效率高，一次可切割幾百個(gè)晶片。

　　2. 加工晶片表面損傷層淺，片間切割損耗少。

　　3. 收放線卷徑實(shí)時(shí)計(jì)算，通過算法加模糊PID控制，達(dá)到擺桿抖動(dòng)±1°以內(nèi)。

　　4. 精密排線控制，能夠自動(dòng)糾偏和換向，保持排線運(yùn)行穩(wěn)定。

　　5. 實(shí)時(shí)采集主軸當(dāng)前力矩，通過閉環(huán)同步控制，實(shí)現(xiàn)多軸力矩平衡。