摘 要：介紹了一種基于懸浮轉(zhuǎn)子微陀螺的雙定子軸向靜電微電機(jī)控制系統(tǒng)的信號(hào)檢測(cè)方法，它對(duì)實(shí)現(xiàn)懸浮轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的閉環(huán)控制尤為重要，其主要特點(diǎn)是采用互相關(guān)檢測(cè)一鎖定放大、DSP控制直接數(shù)字頻率合成（DDS）產(chǎn)生正弦波，并通過實(shí)際正弦波發(fā)生電路和系統(tǒng)仿真驗(yàn)證其可行性，這些提供了解決微小電容檢測(cè)在實(shí)際電路實(shí)現(xiàn)上的一些關(guān)鍵問題的辦法，為實(shí)際電路參數(shù)選擇提供重要參考。 關(guān)鍵字：靜電微電機(jī) 互相關(guān)檢測(cè) 直接數(shù)字頻率合成 鎖定放大 0 引言 　　微電機(jī)作為微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）主要?jiǎng)恿υ春完P(guān)鍵執(zhí)行部件，兼有驅(qū)動(dòng)和精密控制雙重功能，在微小機(jī)器人的關(guān)節(jié)驅(qū)動(dòng)、微小光盤、磁盤驅(qū)動(dòng)、微慣性器件及微小航天儀器中有廣泛的應(yīng)用前景，其研究是MEMS研究熱點(diǎn)之一[1,2]。微電機(jī)的主要驅(qū)動(dòng)方式[2]有靜電式、電磁式、超磁致伸縮式、壓電式、形狀記憶合金式等。 　　靜電電機(jī)從運(yùn)行方式來分可分為直線型和旋轉(zhuǎn)型。旋轉(zhuǎn)型靜電電機(jī)又可以分為軸向驅(qū)動(dòng)型、側(cè)驅(qū)動(dòng)型與擺動(dòng)型[2]。靜電電機(jī)的運(yùn)行原理[1]有2種：一種是利用介電馳豫原理，另一種是利用電容可變?cè)�。本文的研究�?duì)象是基于懸浮轉(zhuǎn)子微陀螺的雙定子靜電微電機(jī)，屬軸向驅(qū)動(dòng)型變電容同步靜電微電機(jī)。 1 靜電微電機(jī)結(jié)構(gòu) 　　如圖1所示，靜電微電機(jī)的結(jié)構(gòu)包括上定子、凸極轉(zhuǎn)子和下定子，在上、下定子表面均分布有公共電容極板、力矩反饋電容極板與旋轉(zhuǎn)電容極板。 　　詳情請(qǐng)點(diǎn)擊：雙定子靜電微電機(jī)控制系統(tǒng)的信號(hào)檢測(cè)研究