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提高實(shí)時(shí)調(diào)焦伺服系統(tǒng)性能的一種新方法

發(fā)布時(shí)間：2008/3/22 14:29:00

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【提高實(shí)時(shí)調(diào)焦伺服系統(tǒng)性能的一種新方法】

資料介紹

對二元光學(xué)元件激光直寫設(shè)備實(shí)時(shí)調(diào)焦伺服系統(tǒng)的要求與實(shí)現(xiàn)方法進(jìn)行了較為全面的介紹，并分析了影響調(diào)焦伺服系統(tǒng)性能的主要因素

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