技術(shù)頻道

為了解決傳統(tǒng)位移傳感器大量程與高精度不可兼得的問題，研制了一種表面輪廓綜合測量儀．該儀器采用二維位移傳感器和垂直掃描工作臺．壓電陶瓷驅(qū)動器和伺服電機根據(jù)零位偏移量驅(qū)動垂直掃描工作臺進行垂直方向的位移。確保測量杠桿總是在每個采樣間隔回到平衡位置，即使在量程增大的情況下由杠桿旋轉(zhuǎn)引起的非線性測量誤差也非常小．由實驗和理論分析可知，該儀器可對球面、臺階、溝槽和其他各種曲面的表面粗糙度和輪廓尺寸進行精確測量．