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離子注入機(jī)大行程垂直掃描系統(tǒng)的研制

發(fā)布時間：2009/4/7 20:15:00

文件類型：rar

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提供者：中國傳動網(wǎng)

【離子注入機(jī)大行程垂直掃描系統(tǒng)的研制】

資料介紹

采用垂直掃描系統(tǒng)是離子注入機(jī)最常用的掃描方式之一,著重闡述了一種大行程垂直掃描系統(tǒng)的系統(tǒng)構(gòu)成、設(shè)計思路和實現(xiàn)方法。經(jīng)過實際使用證明,該系統(tǒng)提高了離子注入機(jī)機(jī)械掃描的可靠性和穩(wěn)定性。

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