技術頻道

本發(fā)明提供了BET表面積為20—150m︿2／g的聚集的晶體硅粉末。它是通過如下步驟制得的：使至少一種蒸氣的或氣態(tài)的硅烷和任選存在的至少一種蒸氣的或氣態(tài)的摻雜物質、惰性氣體和氫氣在熱壁反應器中受熱，將反應混合物冷卻或者待反應混合物冷卻并將粉末狀反應產物與氣態(tài)物質分離，其中相對于硅烷、摻雜物質、氫氣和惰性氣體之和，硅烷的比例在0．1—90重量％之間。