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透明導電膜前電極晶體硅太陽電池屬于一種新結(jié)構(gòu)的光伏電池。其要點是用透明導電薄膜作前電極，來代替柵狀前電極及減反射層。本發(fā)明的透明導電膜前電極是迭層結(jié)構(gòu)，即先在已形成p—n結(jié)的硅基底上，制作厚度小于100nm的高電阻透明導電膜，然后按電導和減反射的要求制作厚度大于150nm的高電導透明導電膜。