經(jīng)濟高效的缺陷掃描和定位

　　由于特征尺寸的減小和設(shè)計復(fù)雜度的增加，晶圓檢驗(即在起始晶圓或基板或者成品器件中尋找缺陷的科學(xué))的要求越來越苛刻、挑戰(zhàn)性不斷增加且成本日益高昂。在整個制造過程中分析每道工步的缺陷至關(guān)重要，因為隨著接近成品器件，檢驗流程變得更具挑戰(zhàn)性且成本更加高昂。借助缺陷檢驗分步掃描，半導(dǎo)體制造商能夠通過早期缺陷檢測來防止成品率損失，從而降低成本。半導(dǎo)體工藝和檢驗在很大程度上依賴于精密運動和提供具有嚴格速度調(diào)節(jié)的同步多軸動態(tài)性能的能力。PI提供多種專為滿足工藝和檢驗應(yīng)用的高要求而量身定制的精密運動平臺。

　　該運動解決方案的主要特點

　　·高處理能力

　　·高度可重復(fù)定位

　　·模塊化和可擴展設(shè)計

　　·輕松集成附加軸

　　·經(jīng)濟高效，交付快捷

　　θZ軸 – 晶圓或基板的精細旋轉(zhuǎn)分度和對準

　　·高精度且可重復(fù)的360度旋轉(zhuǎn)，無空回

　　·磁性直接驅(qū)動器可實現(xiàn)高速度和加速度

　　·直接驅(qū)動、無槽、無刷力矩電機可提供非常低的齒槽轉(zhuǎn)矩并實現(xiàn)平穩(wěn)的速度和低誤差運動?

　　·超精密滾珠軸承由內(nèi)部開發(fā)和制造，因此可縮短交付時間并降低價格。

　　直接驅(qū)動力矩電機技術(shù)

　　Z軸 – 精密晶圓對準

　　·低外形、結(jié)構(gòu)緊湊的優(yōu)異機械設(shè)計?

　　·直接驅(qū)動無鐵芯電機技術(shù)意味著零齒槽效應(yīng)并確保平滑的掃描速度或精密的增量步進?

　　·高分辨率編碼器可實現(xiàn)運動平臺的納米級定位?

　　·高精度防蠕動交叉滾柱軸承?

　　·斷電自鎖功能可防止碰撞?

　　·經(jīng)濟實惠，交付快捷

　　直接驅(qū)動電機技術(shù)

　　電能以機電方式轉(zhuǎn)換為力：借助于“右手定則”，可以確定相對于電流和磁場方向的力方向

　　XY軸 – 精密步進和掃描運動

　　·高動態(tài)無鐵芯線性電機可在長行程內(nèi)實現(xiàn)快速精密的輪廓加工?

　　·絕對編碼器可避免參考并確保運行期間的安全性?

　　·低外形剛性平臺可減少阿貝偏移?

　　·設(shè)計可實現(xiàn)高度的靈活性和可擴展性?

　　·優(yōu)化的集成電纜管理可減少運動阻力并延長使用壽命?

　　·花崗巖底座確保運動系統(tǒng)的較高性能

　　直接驅(qū)動線性電機平臺?

　　靈活輕松的自動化控制

　　·EtherCAT運動控制和驅(qū)動模塊提供開放式網(wǎng)絡(luò)連接

　　·先進算法提供快速步進和穩(wěn)定、高就位穩(wěn)定性以及出色的恒定掃描速度

　　·廣泛的編程環(huán)境并支持高級語言

　　·控制器具有自動聚焦功能，可實現(xiàn)動態(tài)聚焦調(diào)整

　　·前瞻功能可調(diào)整速度以保持精度

　　·輕松編程運動路徑，包括G代碼

　　·ServoBoost?

　　·G-901運動控制器