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ABRS旋轉氣浮平臺
1專為高精密檢測,光學檢測及制造和納米技術設備制造應用設計
2無刷無槽伺服電機直接驅動
3突出的速度穩(wěn)定性(電機無接頭效應)
4卓越的運動性能,誤差小,無抖動
5直聯(lián)高精度旋轉編碼器
6扁平結構設計
7無機械接觸
臺面直徑128.1-278.1mm
分辨率0.18-0.036arcsec
雙向重復定位精度<1arcsec

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