意法半導(dǎo)體 MEMS線性加速度傳感器
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MEMS線性加速度傳感器概述:
線性加速度傳感器的MEMS傳感器基于交叉式梳形硅結(jié)構(gòu),由固定的和可移動的指狀元件組成。為了檢測不同方向上的加速度,這些結(jié)構(gòu)以正交群封裝。每個(gè)方向上的加速通過測量實(shí)現(xiàn)與該軸相關(guān)的可移動元件的變動原理,然后檢測到的運(yùn)作由傳感器轉(zhuǎn)化成模擬或數(shù)字信號。
MEMS線性加速度傳感器的主要特性有:
優(yōu)異的抗沖擊能力
標(biāo)準(zhǔn)模式下的低消耗
省電模式
加速噪聲密度: <50ug/Hz
嵌入式自檢
操作溫度范圍:-40/+85°C
高溫穩(wěn)定性
壽命周期高穩(wěn)定性
采用表面成型封裝
符合RoHS標(biāo)準(zhǔn)

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