“2021年中國(guó)運(yùn)動(dòng)控制/直驅(qū)產(chǎn)業(yè)高峰論壇”在深圳隆重舉行，數(shù)位業(yè)內(nèi)人士在論壇上發(fā)表精彩演講，在直驅(qū)論壇上，上海奧茵紳?rùn)C(jī)電科技有限公司總經(jīng)理耿新紅發(fā)表題為《基于半導(dǎo)體設(shè)備的直驅(qū)伺服系統(tǒng)產(chǎn)業(yè)化》的演講，上海奧茵紳?rùn)C(jī)電科技作為一家從代理國(guó)外品牌到走上自主研發(fā)的國(guó)產(chǎn)化之路，正是直線電機(jī)在中國(guó)的發(fā)展之路，奧茵紳獨(dú)辟蹊徑，專注于DD馬達(dá)的行業(yè)應(yīng)用，在半導(dǎo)體和面板行業(yè)積累了相當(dāng)多的經(jīng)驗(yàn)。

奧茵紳于2009年在上海成立之初,是以代理商的身份進(jìn)入了自動(dòng)化行業(yè)，經(jīng)過(guò)6年市場(chǎng)積累才確立了企業(yè)發(fā)展另一規(guī)劃，通過(guò)自主研發(fā)進(jìn)入直驅(qū)行業(yè)。并在慎重考察整個(gè)市場(chǎng)后，確立了以DD馬達(dá)為產(chǎn)品線主體的策略，2021年奧茵紳銷售額達(dá)1.5億，其中80%來(lái)自于DD馬達(dá)的貢獻(xiàn)。

眾所周知，中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)近年的快速增長(zhǎng)，得益于政府對(duì)該行業(yè)的政策紅利，國(guó)家出臺(tái)了一系列的政策與規(guī)劃、布局。從圖中可看到，大陸半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模，到2020年已達(dá)到1037億人民幣，增速達(dá)30%，隨著半導(dǎo)體市場(chǎng)體量增加，國(guó)產(chǎn)化率也在迅速提高，這對(duì)于核心部件廠商而言是一個(gè)機(jī)遇，觀察半導(dǎo)體制作工藝流程，從硅片的制造、IC的設(shè)計(jì)、前道、后道，而直驅(qū)部分多在后道應(yīng)用，包括晶圓切割、劃片、AOI、清洗、監(jiān)測(cè)設(shè)備、間核、探聲臺(tái)、測(cè)試和分選等等。

中國(guó)大陸半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模（單位：億人民幣）

半導(dǎo)體制作工藝流程

奧茵紳在半導(dǎo)體行業(yè)中的應(yīng)用

首先是在晶圓切割設(shè)備中，而這其中又分為激光晶圓切割和刀輪晶圓切割兩種工藝方式，各有優(yōu)劣勢(shì)。激光切割是利用激光的照射進(jìn)行熔化，使得被照射區(qū)域局部熔化、氣化達(dá)到切割目的。

特點(diǎn)是精度高、工件不易變形、熱影響??；刀輪晶圓切割則是結(jié)合水氣電、高速主軸、精密機(jī)傳動(dòng)等自動(dòng)精密控制技術(shù)對(duì)石英、玻璃、硅片、陶瓷、砷化鎵、藍(lán)寶石等進(jìn)行切劃加工。特點(diǎn)：應(yīng)用多種尺寸的晶圓切割、性能穩(wěn)定、成本低。還過(guò)刀輪晶圓切割應(yīng)用的普遍性更高。

第二個(gè)案例是在邦定機(jī)的使用案例，邦定機(jī)使用的是三軸直驅(qū)模組，響應(yīng)快，尺寸緊湊，效率比較高，調(diào)試起來(lái)的難度比較大。

第三個(gè)應(yīng)用案例也是奧茵紳產(chǎn)品行業(yè)應(yīng)用最多，即半導(dǎo)體測(cè)試分選設(shè)備，主要是DD馬達(dá)用在芯片封裝完最后一道。包括通電測(cè)試、鐳射打標(biāo)、外觀影像檢測(cè)等等。

隨著國(guó)際關(guān)系以及疫情影響，半導(dǎo)體芯片產(chǎn)能不斷向我國(guó)轉(zhuǎn)移，英特爾（Intel）、三星（Samsung）等國(guó)際大廠陸續(xù)在我國(guó)大陸地區(qū)投資建廠，同時(shí)在集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金的引導(dǎo)下，我國(guó)大陸集成電路生產(chǎn)線建設(shè)熱情高漲，對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備的需求巨大。

結(jié)合全球半導(dǎo)體設(shè)備發(fā)展趨勢(shì)以及我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)替代以及下游需求旺盛的多重作用，未來(lái)幾年，我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)仍將保持高速增長(zhǎng)，預(yù)計(jì)2020-2025年，我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)市場(chǎng)規(guī)模將保持在15%左右的復(fù)合增長(zhǎng)率穩(wěn)步提升，到2025年，全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模將達(dá)到298億美元。

奧茵紳前期為代理路線，所以對(duì)于市場(chǎng)工藝和客戶端工藝很清楚，在研發(fā)初期首選了半導(dǎo)體行業(yè)；其次我們具備產(chǎn)品的研發(fā)、設(shè)計(jì)、仿真，一套原生態(tài)研發(fā)團(tuán)隊(duì)，包括電機(jī)、反饋、細(xì)分電路、補(bǔ)償電路等等整個(gè)核心的部件的知識(shí)產(chǎn)權(quán)都掌握在自己手上。最后，這也是最核心的一點(diǎn)，做一個(gè)產(chǎn)品不難，但是批量化生產(chǎn)就不易，奧茵紳正是通過(guò)與客戶之間不斷的測(cè)試和交流來(lái)持續(xù)改善工藝。