AWM 真空專用電機(jī)

　　半導(dǎo)體行業(yè)真空應(yīng)用

　　隨著半導(dǎo)體行業(yè)不斷的發(fā)展壯大，為計(jì)算機(jī)、互聯(lián)網(wǎng)、手機(jī)等各領(lǐng)域做出了貢獻(xiàn)，帶領(lǐng)我們進(jìn)入大數(shù)據(jù)和人工智能的新時(shí)代。

　　然而半導(dǎo)體組件的制造是一個(gè)非常復(fù)雜的過程，它需要配套納米級(jí)芯片制程關(guān)鍵量測(cè)檢測(cè)設(shè)備，提升良率，此外，高端芯片檢測(cè)、量測(cè)設(shè)備需要在高真空環(huán)境下長期保持高精定位，以防止制造過程中的任何顆粒污染或不需要的化學(xué)反應(yīng)，這對(duì)真空電機(jī)的要求極高。

　　關(guān)鍵挑戰(zhàn)—釋氣

　　在真空環(huán)境中工作的主要挑戰(zhàn)之一是“釋氣”，這是真空應(yīng)用中的一個(gè)關(guān)鍵因素。釋氣是指通過蒸發(fā)、解吸或滲入，將已溶解、吸收或捕獲的氣體釋放到真空環(huán)境中，進(jìn)而影響設(shè)備腔體的真空環(huán)境。這意味著隨著時(shí)間的流逝，釋氣持續(xù)發(fā)生，所以必須有效地提高抽速以保持一定的真空度。此外，在釋氣過程中釋氣產(chǎn)物可能會(huì)凝結(jié)在表面上造成污染。

　　AWM系列電機(jī)

　　雅科貝思研發(fā)設(shè)計(jì)的真空兼容無鐵芯直線電機(jī)—— AWM 系列，可在低至 10^-7 torr真空壓力的高真空條件下使用。AWM 系列的線圈和磁軌均由真空兼容材料制成，這些材料經(jīng)過特殊選擇和單獨(dú)測(cè)試，以確保每種材料都滿足釋氣和 RGA 要求。同時(shí)，雅科貝思在生產(chǎn)制造過程中，采用特殊的真空工藝，確保 AWM 系列電機(jī)生產(chǎn)制造的每個(gè)環(huán)節(jié)都在嚴(yán)格地管控環(huán)境中，以防止在過程中吸收氣體。

　　此外，為了滿足真空需求以及高無塵潔凈等級(jí)，達(dá)到最大限度地減少污染、清潔電機(jī)和運(yùn)輸前的雙重真空包裝的目的，雅科貝思真空電機(jī)的搬運(yùn)、運(yùn)送、包裝等流程都有著特殊的要求，包括使用適用于真空的材料、工具和設(shè)備等。

　　電機(jī)優(yōu)勢(shì)及應(yīng)用

　　AWM系列有多種尺寸可供選擇，持續(xù)力范圍從4.5N到769N，可滿足不同應(yīng)用。

　　真空平臺(tái)(AWM電機(jī)集成)

　　此平臺(tái)為疊加XY結(jié)構(gòu)，真空度可滿足 10^-7 torr。

　　平臺(tái)使用支持真空環(huán)境的無鐵芯直線電機(jī)，真空導(dǎo)軌以及真空光學(xué)編碼器;靜態(tài)抖動(dòng)低至 +/-5 nm，可提供定制化磁屏蔽設(shè)計(jì)。

　　主要應(yīng)用于前端/后端晶圓缺陷及關(guān)鍵尺寸檢測(cè)、電子束光刻等。

　　真空平臺(tái)3D模型

　　真空電機(jī)定制服務(wù)

　　雅科貝思以其前瞻性，長期以來對(duì)于真空適應(yīng)性電機(jī)投入大量研發(fā)資源，目前已擁有成熟的工藝及先進(jìn)的配套生產(chǎn)、測(cè)試設(shè)備。

　　除上述AWM標(biāo)準(zhǔn)電機(jī)系列外，雅科貝思接受其他類型電機(jī)的真空版本定制，包括直線電機(jī)，直驅(qū)旋轉(zhuǎn)電機(jī)(DDR)，音圈電機(jī)(VCM)。